1.硅烷廢氣簡述

多晶硅，是單質(zhì)硅的一種形態(tài)。熔融的單質(zhì)硅在過冷條件下凝固時(shí)，硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核，如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結(jié)合起來，就結(jié)晶成多晶硅。硅烷廢氣屬于有D、易R易B的廢氣，它對人身體健康有傷害，因此，企業(yè)在工業(yè)生產(chǎn)活動過程產(chǎn)生硅烷廢氣，為了保持良好的工作條件和防止破壞自然環(huán)境，需要對工業(yè)生產(chǎn)過程對產(chǎn)生的硅烷廢氣處理，顯得尤為重要。

2.硅烷廢氣處理工藝

硅烷廢氣具有易R易B氣體，同時(shí)又屬于弱酸性氣體，因此，對于硅烷廢氣處理可采用堿洗法、燃燒法處理即可處理，接下來鑫藍(lán)環(huán)保小編詳細(xì)介紹硅烷廢氣處理工藝。

（1）堿洗法

將集氣罩收集硅烷廢氣通過管道輸送進(jìn)入堿洗塔，經(jīng)堿洗塔酸堿中和處理，達(dá)標(biāo)排放。

（2）燃燒法-TO直燃爐

采用TO直燃式廢氣焚燒技術(shù)，對氧化和碳化過程中產(chǎn)生的廢氣進(jìn)行焚燒。該廢氣焚燒裝置在有效處理廢氣的同時(shí)，還能將焚燒產(chǎn)生的熱量進(jìn)行回收利用，如通過熱交換器，將廢氣中的熱量傳遞給氧化用的新鮮空氣，節(jié)約了一定的能源。TO直燃爐由全自動點(diǎn)火器將噴入燃燒室的柴油點(diǎn)燃，所有廢氣在燃燒室里被加熱到大約850℃，有毒氣體在燃燒室里被高溫焚燒掉。由低溫和高溫碳化爐排放出的高濃度有毒廢氣直接通過噴嘴（管口）進(jìn)入燃燒室。氧化爐排放出的大流量廢氣被分成兩股，一小部分被用作助燃空氣，另一部分在溫度為650℃以上的廢氣預(yù)熱器中與焚燒爐排放標(biāo)準(zhǔn)的尾氣，經(jīng)換熱器將熱量傳遞給供氧化爐使用新鮮空氣。

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